Verios SEM 将扫描电镜的分辨率提升至极限

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· 带有单色器的电子枪，无论高低电压均可轻松实现亚纳米级分辨率
· 电子束着陆能量低至20 eV，对电子束敏感材料的表征非常友好
· 标配压电陶瓷样品台，实现优良的精确度和稳定性