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Verios 5 XHR SEM 超高分辨场发射扫描电镜

· 带有单色器的电子枪,无论高低电压均可轻松实现亚纳米级分辨率低真空模式具有和高真空模式相同的分辨力,荷电样品轻松应对
· 电子束着陆能量低至20 eV,对电子束敏感材料的表征非常友好
· 标配压电陶瓷样品台,实现优良的精确度和稳定性

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